一、儀器自身因素
1.原理誤差
激光粗糙度儀是基于激光干涉或激光散斑等原理進行測量的。如果對測量原理的理解和應用存在偏差，會導致測量結果不準確。例如，在采用激光散斑法時，散斑的對比度、大小和分布等參數的設置和處理不當，可能會使計算出的表面粗糙度參數出現偏差。
激光干涉法中，干涉條紋的清晰度和對比度對測量精度有很大影響。如果環境因素導致干涉條紋質量下降，如空氣湍流、溫度梯度等，會使測量結果產生誤差。
2.校準不準確
儀器在使用前需要進行校準，以確保測量的準確性。如果校準過程中使用的校準樣塊不準確，或者校準操作不正確，會使儀器產生系統性誤差。例如，校準樣塊表面的粗糙度值本身不準確，或者在校準過程中儀器與樣塊之間的接觸狀態不穩定，都會影響儀器的校準效果。
長時間使用后，儀器的光學元件、傳感器等部件可能會出現老化、變形等情況，需要定期重新校準。如果沒有及時校準，儀器的測量精度會逐漸下降。
3.分辨率限制
激光粗糙度儀有一定的分辨率限制，即它能夠分辨的最小表面特征尺寸。如果被測表面的微觀不平度尺寸小于儀器的分辨率，儀器將無法準確地測量這些細節，導致測量結果不夠精確。例如，對于一些納米級別的微觀結構，普通粗糙度儀可能無法準確測量其粗糙度。
二、被測物體因素
1.表面特性
被測物體的材料類型和表面處理方法對測量結果有顯著影響。不同材料的光學性質不同，如反射率、折射率等，會影響激光在表面的傳播和反射，從而影響測量信號的強度和準確性。例如，金屬材料的反射率一般較高，而非金屬材料的反射率較低，這可能導致相同粗糙度的情況下，測量信號的強度不同。
表面的顏色也會對測量產生影響。深色表面吸收激光的能力較強，可能會使測量信號減弱，影響測量結果的準確性。此外，表面處理方式，如鍍層、涂層、熱處理等，會改變表面的微觀結構和光學性質，進而影響測量結果。
被測表面的微觀幾何形狀也很重要。如果表面存在陡峭的坡度、深槽或尖銳的邊緣，可能會導致激光束無法完*覆蓋或聚焦在這些區域，從而使測量結果出現偏差。
2.表面清潔度
被測表面的油污、灰塵、水分等污染物會對粗糙度儀的測量結果產生很大的影響。污染物會改變表面的光學特性，使激光的反射和散射變得不規則，導致測量信號失真。例如，表面的油污會使激光散射增加，降低反射光的強度，從而使測量的粗糙度值偏大。
三、環境因素
1.溫度
溫度變化會對激光粗糙度儀的性能和被測物體的尺寸產生影響。對于儀器本身，溫度變化可能會導致光學元件的熱脹冷縮，改變激光的光路和焦點位置，從而影響測量精度。例如，在溫度升高時，儀器的光學鏡片可能會膨脹，使激光束的聚焦點發生偏移。
對于被測物體，溫度變化會引起材料的熱脹冷縮，改變被測表面的尺寸和微觀結構。特別是對于一些熱膨脹系數較大的材料，如塑料、橡膠等，溫度變化對測量結果的影響更為明顯。
2.濕度
高濕度環境可能會導致被測表面吸附水分，改變表面的光學性質和微觀結構。同時，濕度還可能影響儀器的電子元件和光學元件的性能，導致測量誤差。例如，在潮濕的環境中，電子元件可能會出現漏電、短路等問題，影響儀器的正常工作。
3.振動和噪音
測量環境中的振動源，如附近的機械設備、交通等產生的振動，會干擾儀器的測量過程。振動可能會導致激光束的位置發生變化，使測量信號不穩定，從而影響測量結果的準確性。此外，環境中的電磁噪音也可能干擾儀器的電子系統，影響測量數據的采集和處理。
